各社の露光装置の出荷台数

　図4は、各種露光装置の企業別出荷台数を示す。1台240億円もする最先端露光装置EUVは、ASMLしか出荷することができない。その台数は、2023年は53台だった。

　1台98億円のArF液浸については、ASMLが125台、ニコンが9台であり、ASMLがニコンを圧倒している。1台31億円のArFドライでは、ASMLが32台、ニコンが10台となっており、ニコンがやや頑張っている（というよりASMLが手を抜いているようにも見える）。

図4　各種露光装置の価格と企業別出荷台数（2023年）
出所：モルガンスタンレー証券のデータを基に作成
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　そして最も台数が多い16億円のKrFでは、ASMLが184台、ニコンがわずか2台、キヤノンが56台だった。ここで初めてキヤノンが出てくるが、キヤノンの56台は、ASMLの184台の30％に当たる。さらに、1台7億円のi線では、ASMLが55台、ニコンが24台、キヤノンが何とASMLの約2.4倍の131台を出荷している。

　なお、ここで、各種露光装置の価格は、ASMLの決算報告書を参考に算出した。その際、1ユーロ＝160円で日本円に換算した。