SMICはどうやって7nmを開発したか
半導体の微細なパターンを形成するためには、最先端の露光装置が必要である。その露光装置の解像度は光の波長に比例するため、露光装置の光源の光を短波長することにより
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半導体の微細なパターンを形成するためには、最先端の露光装置が必要である。その露光装置の解像度は光の波長に比例するため、露光装置の光源の光を短波長することにより
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