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バッチ式と枚葉式の2種類の洗浄装置
洗浄装置には、25～50枚のシリコンウエハを一度に洗浄するバッチ式（別名、ウエットステーション）と、ウエハを1枚ずつ洗浄する枚葉式（別名、スプレー式）の2種類
残り2582文字
半導体・枚葉式洗浄装置市場、凄まじい韓国勢の成長
出荷台数でスクリーンを抜いた韓国SEMES
2019.11.1（金）
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