いつまでも「職人芸」では海外メーカーに勝てない

日本の半導体製造装置はなぜスループット、稼働率が劣るのか

2010.9.24（金）湯之上隆

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　しかし、ASMLとニコンの露光装置を同時立ち上げしたリソグラフィ技術者の証言によれば、ASMLとニコンの装置には大きな差があるという。その差とは一体何か？

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