DRAMメーカーが血眼で1nmにこだわる理由

「18nmのDRAM」には18nmがある!
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(写真はイメージ)
図1 DRAM構造の変遷
出所:「日本半導体歴史館」(http://www.shmj.or.jp/museum2010/exhibi428.htm )
図2 DRAM構造
出所:Rick Merritt 『折り曲げ可能なスマホから3D DRAMまで、SEMIイベント』(EE Times Japan、2019年1月21日)、ソースは東京エレクトロン(TEL)
図3 DRAMの平面図
図4 DRAMの微細化の推移と将来予測
出所:ITRSおよびIRDSのデータを基に筆者作成
図5 サムスン電子とマイクロンの2GビットDRAMの比較

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