日本半導体・敗戦から復興へ

1〜 45 46 47 最新

「次世代露光装置」実現のカギ、
日本人の手でEUV光源の実現を！

2013.6.14（金）湯之上隆

フォロー

フォロー中

この写真の記事へ戻る

図1　ASMLの企業別シェアの推移、出所：電子ジャーナル『半導体製造装置データブック』（1994～2012年）

図2　露光装置の稼働率の比較（左がある日本の量産工場での露光装置の稼働率、右があるアジアの量産工場で露光装置の稼働率）
拡大画像表示

図3　露光装置の稼働率の比較

図4　半導体露光用エキシマレーザー光源出荷台数とギガフォトンのシェア、出所：ギガフォトンHP、技術情報、Technical Paper
拡大画像表示

表1　EUVL光源メーカーの開発状況

図5　LPP（Laser Produced Plasma）方式のキーポイント、出所：岡崎信次氏の発表資料を参考に筆者作成

図6　10億ドル（1000 M$）を超える主要装置分野、Electric Journal 『半導体製造装置データブック』を基に筆者作成

図7　主要製造装置分野のメーカー別シェア（2011年）、Electric Journal 『半導体製造装置データブック』を基に筆者作成
拡大画像表示

表2　日本が弱くなった装置分野

表3　日本が強い装置分野

産業の写真

欧州委、アップルを新法違反と正式認定する方針

「製薬企業はサイエンスに実直であるべき」塩野義製薬が重視する「データドリブン経営」の要件

デジタル時代だからこそ「現物教育の重要性が増している」、住友電工の“現場で育てる”モノづくり人材育成法

業界の定説に反したアイリスオーヤマの「農作業用の半透明タンク」が大ヒットした理由とは

ダイソー創業者は、なぜ新入社員に「人生は運だ」と言い続けたのか

中国BYDの第3の乗用車「SEAL」に試乗戦略的な価格のDセグメントEVセダンその品質は？

本日の新着

金融市場が不安定化するリスク……欧州委員会が勧告した仏伊など7カ国の財政是正措置が新たな火種に

【唐鎌大輔の為替から見る日本】フランス極右政党は欧州委員会の勧告を素直に受け入れるか？

【無痛分娩後進国】かつては「痛みに耐えて産んだ」マウントも…人権の観点から広がったフランス、関心が低い日本

なぜ、無痛分娩は日本で普及が遅れてきたのか？田辺けい子・神奈川県立保健福祉大学准教授に聞く

河端里咲 | 田辺けい子

欧州委、アップルを新法違反と正式認定する方針

制裁金は最大で世界年間売上高の10％

小久保重信

政略結婚、ウラジーミル・プーチンと金正恩の危険な友情

フォロー機能について

フォロー機能とは、指定した著者の新着記事の通知を受け取れる機能です。
フォローした著者の新着記事があるとヘッダー（ページ上部）のフォロー記事アイコンに赤丸で通知されます。
フォローした著者の一覧はマイページで確認できます。
※フォロー機能は無料会員と有料会員の方のみ使用可能な機能です。

設定方法

記事ページのタイトル下にある「フォローする」アイコンをクリックするとその記事の著者をフォローできます。

確認方法

フォロー中の著者を確認したい場合、ヘッダーのマイページアイコンからマイページを開くことで確認できます。

解除方法

フォローを解除する際は、マイページのフォロー中の著者一覧から「フォロー中」アイコンをクリック、
または解除したい著者の記事を開き、タイトル下にある「フォロー中」アイコンをクリックすることで解除できます。