写真提供：ＣＦＯＴＯ／共同通信イメージズ
スマホやパソコン、家電、自動車など、生活に密着した機器の製造に不可欠な半導体。生成AI時代の到来でその重要性は増しており、米中覇権争いが熾烈（しれつ）を極める中、経済安全保障における最も重要な戦略物質と目されている。一方で、製品はメモリ、CPU（MPU）、センサーなど多種多様、多数のメーカーが製造工程ごとに世界中に点在しており、産業構造はあまり知られていないのが実態だろう。そこで本連載では、日本電気で一貫して半導体事業に携わった菊地正典氏の著書『教養としての「半導体」』（菊地正典著／日本実業出版社）から、内容の一部を抜粋・再編集。
第3回は、日本企業の主戦場である半導体製造装置業界について、製造工程と主要企業を概説する。
＜連載ラインアップ＞
■第1回 インテル、サムスン、キオクシアだけでない、約530兆円の「半導体巨大市場」を構成しているのはどのような企業か？
■第2回 ソニー、キオクシア、三菱電機、東芝…日本勢はどんな製品で世界と戦っているのか？
■第3回 先端露光装置の分野で日系企業を追い抜いた、覚えておくべきオランダのメーカーとは？（本稿）
■第4回 世界が注目するエヌビディアとTSMCは、なぜライバル関係にないのか？
■第5回 TSMC日本進出の背景、次世代半導体の量産を目指すラピダスの課題とは？
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製造装置業界は「前工程」向け、「後工程」向けの 二つに分かれる
『教養としての「半導体」』（日本実業出版社）
製造装置メーカーは、半導体の製造、すなわちシリコン（ケイ素）の基板上に多数のチップをつくり込む前工程向けと、完成した1個1個のチップを組立・検査する後工程向けの二つに大きく分かれます。そして、前工程に使われる装置をIDM企業やファウンドリー企業（前工程対応）に提供し、後工程用の装置をIDM企業やOSAT企業（後工程対応）に提供します。
■ 前工程の特筆すべき製造装置メーカー
下の図「半導体製造工程の概略」を見ていただければ、前工程・後工程の中にどのような細かな工程があるか、それらがどのような順になっているかがおわかりでしょう。そして製造装置メーカー、材料メーカーがそれぞれの工程の装置・材料を提供します。また、ファウンドリー企業は前工程に、OSAT企業は後工程に対応していることがわかるでしょう。
細かい話は後の章にゆずって、ここではこのような工程があり、それらを生産している企業としてどのようなメーカーがあるのかについて簡単に触れておくことにします。下の図表が前工程用の主な製造装置とその代表的メーカーです。
どの企業もそれぞれの工程で重要といえますが、その中でも特に覚えておきたい企業がASML（オランダ）です。ほかにもアプライド・マテリアルズ（AMAT：アメリカ）、ラムリサーチ（アメリカ）、そして日本企業の東京エレクトロン（TEL）、アルバック、表にはありませんがディスコ、レーザーテック、村田機械なども覚えておきたい企業です。
ASML（オランダ）は先端露光装置に特化した企業で、それまでこの分野で強かったキヤノン、ニコンを一気に突き放しました。
なお、ASMLとは別にASMインターナショナル（オランダ）という企業もあります。これは同じ製造装置企業で、CVD（シリコンウエハー上に必要な薄膜を堆積させる装置）やALD（薄膜を1原子層ずつ堆積させる装置）などの成膜装置、あるいは拡散炉など幅広い装置を扱っています。名前が非常によく似ていますが、ASMLとASMインターナショナルは同じオランダ企業ではあっても別企業です。
アプライド・マテリアルズ（アメリカ）はAMATと略されることも多い企業です。CVD、ALD、スパッタ、メッキなどの成膜装置、ドライエッチャー、CMP装置（シリコンウエハーの研磨）などの代表的企業です。ラムリサーチ（アメリカ）も同様に、ドライエッチャー（薄膜を部分的に除去）、CVD、CMP装置、メッキ装置、ウエット洗浄装置（半導体の洗浄：半導体製造プロセスの30～40％を占める）の企業として知られています。
