国際学会の論文統計から見えてくる半導体の将来動向
今年のVLSIシンポジウムはAIをメインテーマにして開催される（画像はイメージ）
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図1 半導体に関する主な学会
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図2 フロントエンドの技術動向
（出所:有門経敏「論文分析セミナー」（NTTデータ数理システム主催、2017年6月29日））
（出所:有門経敏「論文分析セミナー」（NTTデータ数理システム主催、2017年6月29日））
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図3 バックエンドの技術動向（1）
出所:有門経敏「論文分析セミナー」（NTTデータ数理システム主催、2017年6月29日）
出所:有門経敏「論文分析セミナー」（NTTデータ数理システム主催、2017年6月29日）
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図4 バックエンドの技術動向（2）
出所:有門経敏「論文分析セミナー」（NTTデータ数理システム主催、2017年6月29日）
出所:有門経敏「論文分析セミナー」（NTTデータ数理システム主催、2017年6月29日）
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図5 インテルが10nmノードのM0とM1にCoを使った
（出所：IEDM2017-674、インテル）
（出所：IEDM2017-674、インテル）
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図6 装置メーカーの役割の変遷
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国際学会の論文統計から見えてくる半導体の将来動向
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