日本半導体・敗戦から復興へ

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DRAMメーカーが血眼で1nmにこだわる理由

「18nmのDRAM」には18nmがある！

2019.10.7（月）湯之上隆

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IT・デジタル電機・半導体

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（写真はイメージ）

図1　DRAM構造の変遷
出所：「日本半導体歴史館」（http://www.shmj.or.jp/museum2010/exhibi428.htm ）

図2　DRAM構造
出所：Rick Merritt 『折り曲げ可能なスマホから3D DRAMまで、SEMIイベント』（EE Times Japan、2019年1月21日）、ソースは東京エレクトロン（TEL）

図3　DRAMの平面図

図4　DRAMの微細化の推移と将来予測
出所：ITRSおよびIRDSのデータを基に筆者作成

図5　サムスン電子とマイクロンの2GビットDRAMの比較

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