東芝メモリに期待！ NAND高密度化のイノベーション
3次元NANDはまるで高層ビルのようである（写真はイメージ）
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図1 3次元NANDフラッシュメモリの積層数
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図2 NANDフラッシュメモリの高密度化の推移
（出所：福田昭『徹底プレビュー「メモリ編：次世代大容量フラッシュと次世代高速DRAMに注目』（EE Times Japan、2015年1月19日）の図、ソースは、ISSCC 2015 Tokyo Press Conferenceの資料）
（出所：福田昭『徹底プレビュー「メモリ編：次世代大容量フラッシュと次世代高速DRAMに注目』（EE Times Japan、2015年1月19日）の図、ソースは、ISSCC 2015 Tokyo Press Conferenceの資料）
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図4 2次元NANDと3次元NANDの比較
（出所：東芝のHP）
（出所：東芝のHP）
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図5 3次元NANDのメモリセルの工程フロー
（出所：東芝のHP）
（出所：東芝のHP）
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図6 3次元NANDの積層数と深孔のアスペクト比
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東芝メモリに期待！ NAND高密度化のイノベーション
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