日本半導体・敗戦から復興へ
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世界トップシェア装置が日本で売れない不思議

高生産性で大躍進した米国製ドライエッチング装置
2010.10.26(火) 湯之上 隆 follow フォロー help フォロー中
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図1 ドライエッチング装置の世界市場シェア
(出所:『半導体製造装置データブック』電子ジャーナル)
図2 微細加工の原理
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図3 ドライエッチング技術の原理
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図4 反応生成物の制御方法の違い
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図5 ラムリサーチの「エクセラン」を使うメリット
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図6 絶縁膜用ドライエッチング装置の日本市場シェア
(出所:『半導体製造装置データブック』電子ジャーナル)

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