世界トップシェア装置が日本で売れない不思議 図1 ドライエッチング装置の世界市場シェア (出所:『半導体製造装置データブック』電子ジャーナル) (画像1/6) 図2 微細加工の原理 拡大画像表示 (画像2/6) 図3 ドライエッチング技術の原理 拡大画像表示 (画像3/6) 図4 反応生成物の制御方法の違い 拡大画像表示 (画像4/6) 図5 ラムリサーチの「エクセラン」を使うメリット 拡大画像表示 (画像5/6) 図6 絶縁膜用ドライエッチング装置の日本市場シェア (出所:『半導体製造装置データブック』電子ジャーナル) (画像6/6) 世界トップシェア装置が日本で売れない不思議 この写真の記事を読む