中国・上海で開催された国際半導体博覧会「IC China 2020」における中国SMICのブース(2020年10月14日、写真:ロイター/アフロ)
図1 TrendForceによるTSMC、サムスン(Samsung)、SMICのロードマップ
出所:
TrendForce、2020年9月
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図2 SMICの技術ノードごとの出荷額の割合(~2020年Q1)
出所:SMICの決算報告書を基に筆者作成
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図3 SMICの技術ノードごとの出荷額の割合(~2020年Q3)
出所:SMICの決算報告書を基に筆者作成
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図6 SADP(Self-Aligned Double Patterning)
(注)ALDはAtomic Layer Depositionの略で広義にはCVDに含まれる
図7 EUV露光装置の基本構成
出所:技術研究組合「極端紫外線露光システム技術開発機構(EUVA)」の発表資料
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