シリコンウエハ上のチップの歩留りを90%以上に保てるのは高度な洗浄技術があるから(写真はイメージ)
図1 洗浄装置の企業別の世界シェア
出所:電子ジャーナル『半導体製造装置データブック』を基に筆者作成 (2014-15年のみSCREENホールデイングスのIRデータを基に筆者作成)
図2 10億ドルを超える主要装置分野
出所:電子ジャーナル『半導体製造装置データブック』を基に筆者作成
図3 2000年で規格化した前工程装置市場の推移
出所:電子ジャーナル『半導体製造装置データブック』を基に筆者作成
図4 主要製造装置分野のメーカー別シェア(2013年)
電子ジャーナル『半導体製造装置データブック』を基に筆者作成