ウクライナ戦争長期化で危惧される、半導体製造がストップする日
ロシア軍の攻撃によって発生した、ウクライナ・オデッサの燃料貯蔵施設などでの火災。オデッサには半導体製造に必要な希ガスの工場がある(2022年4月3日、写真:AP/アフロ)
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図1 半導体の微細加工の原理
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図2 露光装置の原理と歴史
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図3 ASMLの露光装置の出荷台数(2020年と2021年)
出所:ASMLのHP(Q4 2021 and full-year financial resultsのPresentationから抜粋)
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図4 ウクライナのガスメーカーの現状
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図5 絶縁膜エッチングの原理
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ウクライナ戦争長期化で危惧される、半導体製造がストップする日
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