日本半導体・敗戦から復興へ

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ウクライナ戦争長期化で危惧される、半導体製造がストップする日

「希ガス」と「C4F6」の供給が止まると何が起こるか？

2022.4.6（水）湯之上隆

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電機・半導体

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ロシア軍の攻撃によって発生した、ウクライナ・オデッサの燃料貯蔵施設などでの火災。オデッサには半導体製造に必要な希ガスの工場がある（2022年4月3日、写真：AP/アフロ）

図1　半導体の微細加工の原理

図2　露光装置の原理と歴史

図3　ASMLの露光装置の出荷台数（2020年と2021年）
出所：ASMLのHP（Q4 2021 and full-year financial resultsのPresentationから抜粋）
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図4　ウクライナのガスメーカーの現状

図5　絶縁膜エッチングの原理

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