日本半導体・敗戦から復興へ
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ウクライナ戦争長期化で危惧される、半導体製造がストップする日

「希ガス」と「C4F6」の供給が止まると何が起こるか?
2022.4.6(水) 湯之上 隆 follow フォロー help フォロー中
電機・半導体
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ロシア軍の攻撃によって発生した、ウクライナ・オデッサの燃料貯蔵施設などでの火災。オデッサには半導体製造に必要な希ガスの工場がある(2022年4月3日、写真:AP/アフロ)
図1 半導体の微細加工の原理
図2 露光装置の原理と歴史
図3 ASMLの露光装置の出荷台数(2020年と2021年)
出所:ASMLのHP(Q4 2021 and full-year financial resultsのPresentationから抜粋)
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図4 ウクライナのガスメーカーの現状
図5 絶縁膜エッチングの原理

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