DRAMメーカーが血眼で1nmにこだわる理由
「18nmのDRAM」には18nmがある！
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（写真はイメージ）
図1 DRAM構造の変遷
出所：「日本半導体歴史館」（http://www.shmj.or.jp/museum2010/exhibi428.htm ）
出所：「日本半導体歴史館」（http://www.shmj.or.jp/museum2010/exhibi428.htm ）
図2 DRAM構造
出所：Rick Merritt 『折り曲げ可能なスマホから3D DRAMまで、SEMIイベント』（EE Times Japan、2019年1月21日）、ソースは東京エレクトロン（TEL）
出所：Rick Merritt 『折り曲げ可能なスマホから3D DRAMまで、SEMIイベント』（EE Times Japan、2019年1月21日）、ソースは東京エレクトロン（TEL）
図3 DRAMの平面図
図4 DRAMの微細化の推移と将来予測
出所：ITRSおよびIRDSのデータを基に筆者作成
出所：ITRSおよびIRDSのデータを基に筆者作成
図5 サムスン電子とマイクロンの2GビットDRAMの比較
