日本半導体・敗戦から復興へ

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世界トップシェア装置が日本で売れない不思議

高生産性で大躍進した米国製ドライエッチング装置

2010.10.26（火）湯之上隆

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図1　ドライエッチング装置の世界市場シェア
（出所：『半導体製造装置データブック』電子ジャーナル）

図2　微細加工の原理
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図3　ドライエッチング技術の原理
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図4　反応生成物の制御方法の違い
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図5　ラムリサーチの「エクセラン」を使うメリット
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図6　絶縁膜用ドライエッチング装置の日本市場シェア
（出所：『半導体製造装置データブック』電子ジャーナル）

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