日本半導体・敗戦から復興へ 1〜 13 14 15 最新 世界トップシェア装置が日本で売れない不思議 高生産性で大躍進した米国製ドライエッチング装置 2010.10.26(火) 湯之上 隆 フォロー フォロー中 Tweet この写真の記事へ戻る 図1 ドライエッチング装置の世界市場シェア (出所:『半導体製造装置データブック』電子ジャーナル) 図2 微細加工の原理 拡大画像表示 図3 ドライエッチング技術の原理 拡大画像表示 図4 反応生成物の制御方法の違い 拡大画像表示 図5 ラムリサーチの「エクセラン」を使うメリット 拡大画像表示 図6 絶縁膜用ドライエッチング装置の日本市場シェア (出所:『半導体製造装置データブック』電子ジャーナル)