洗浄は「歩留り90%」に大きく貢献し、それが半導体のコストダウンを実現、半導体の普及を支えてきた。装置市場の中で3番目の規模に位置する洗浄装置市場は、全ての装置の中で最も高い成長率を示し、今後もその勢いは止まらない。
半導体がこれほど普及したのは洗浄技術があったから
ウエハ洗浄装置メーカー「スクリーン」の苦境と活路(前編)
2016.12.2(金)
湯之上 隆
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