洗浄は「歩留り90%」に大きく貢献し、それが半導体のコストダウンを実現、半導体の普及を支えてきた。装置市場の中で3番目の規模に位置する洗浄装置市場は、全ての装置の中で最も高い成長率を示し、今後もその勢いは止まらない。