露光装置と同じように、世界市場で最も売れている製品が日本市場では売れないという装置が、もう1種類ある。それは、絶縁膜を微細加工する「ドライエッチング装置」である。
世界トップシェア装置が日本で売れない不思議
高生産性で大躍進した米国製ドライエッチング装置
2010.10.26(火)
湯之上 隆
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