EUVLの量産機が実現すれば、より半導体の微細化が進み、5年後、10年後に、より高機能で快適で安価なPCやスマホを、世界中の人々が買うことができるようになるはずだ。ぜひとも日本人の手で、量産に使えるEUV光源を開発してほしいと思う。
「次世代露光装置」実現のカギ、
日本人の手でEUV光源の実現を!
2013.6.14(金)
湯之上 隆
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